微小孔电火花加工磁悬浮驱动主轴设计和仿真分析,郭永丰,张凯,针对微小孔电火花加工主轴伺服响应速度慢,跟踪性差的问题,提出并设计了一种基于多自由度可控磁悬浮伺服驱动原理的微小孔电火花