电子束蒸发镀膜速率控制

摘要介绍了电子束蒸发镀膜速率控制的基本原理和方法，选取实际生产中大量使用且蒸发特性较难控制的Si02 和Hf02，对两者的电子束蒸发速率控制分别进行了实验研究。采用比例积分微分(PID)闭环反馈控制，通过 Ziegler—Nichols工程经验公式进行原始参量整定，并在实验的基础上对控制器的原始参量进行调整以及对积分作 用和微分作用进行分区处理，速率控制的实验结果表明，采用该参量整定方法并结合工艺流程的改进，能获得良好 的速率控制。针对速率控制中存在的难点问题进行了分析，并提出改进措施：将速率控制和电子枪扫描控制相结 合能进一步改善速率控制。