氧化钒薄膜制备及热处理过程研究,闫蓓蕾,,采用以金属钒为基础原料利用直接反应法制备氧化钒薄膜并进行热处理过程研究,研究热处理温度对氧化钒薄膜成分的影响。采用扫描电