高精度永磁直线伺服电机法向电磁力波的分析与计算,夏加宽,沈丽,永磁直线伺服电机在运行过程中动、定子之间存在较大的法向电磁力波动,法向力波动引起的振动和摩擦摄动严重影响到高精密机床的定