MEMS技术构成

硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。体硅MEMS加工技术的主要特点是对硅衬底材料的深刻蚀，可得到较大纵向尺寸可动微结构。表面MEMS加工技术主要通过在硅片上生长氧化

硅陀螺仪及其同类加速度计产品在消费电子设备中应用日益广泛。然而,由于数据准确性欠佳,MEMS系统却反而使得最终用户体验变得更糟。作者:MARK LOONEY传统上,陀螺仪是用于测量旋转角速率的机械器件

一种由Uni-Pixel显示技术公司开发的时序多工光学快门技术,将有望实现比TFTLCD更亮、更薄、更便宜的显示器。这种技术的核心是像素设计,就是使用MEMS快门来控制显示器的光通量。

湿法刻蚀是MEMS 器件去除牺牲材料的传统工艺,总部位于苏格兰的Point 35 Microstructures在SEMICON China期间推出了干法刻蚀模块与氧化物释放技术,该技术为MEMS器件

MEMS是什么呢？MEMS（Micro Electro Mechanical systems，微电子机械系统）是建立在微米/纳米技术基础上的前沿技术，其是一种可对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测

Design of MEMS Wireless Air-mouse System based on MEMS technology.

存储领域国际权威机构SNIA(存储网络工业协会)给出了存储虚拟化(Storage Virtualization)的定义:“通过将存储系统/子系统的内部功能从应用程序、计算服务器、网络资源中进行抽象、隐

基于重叠技术构成的模型计算机实验

圆形连接器的技术参数 - 接触电阻:(测量时包括导线电阻在内) #22D:14.6mΩ #20:7.3mΩ #16:3.8mΩ #12:1.8mΩ - 绝缘电阻:大于或等于5000MΩ

ST意法半导体的MEMS标准C库，用于ST的MEMS驱动开发，支持多数器件