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MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的英文缩写，也叫微电子机械系统。它的出现可追溯到19世纪。20世纪60年代美国人首先研发出了结晶异方向腐蚀、阳极键合等早期的基
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MEMS(MicroElectromechanicalSystem，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来MEMS具有以下
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