半导体制造业发展迅速,"绿色"技术无疑具有光明的未来,这就要求有新的激光加工工艺与技术来获得更高的生产品质、成品率和产量。除了激光系统的不断发展,新的加工技术和应用、光束传输与光学系统的改进、激光光束与材料之间相互作用的新研究,都是保持绿色技术革新继续前进所必须的。下文围绕紫外DPSS激光器、准分子激光器、光纤激光器在半导体行业中的加工应用,展开论述。 紫外DPSS激光器在LED晶圆划片中的应用 DPSS是全固态半导体激光器的简称。窄脉宽、短波长紫外二极管泵浦固体激光器(DPSS)的最新进展促进了工业生产系统的发展。过去,DPSS激光器比较适用于科研而不适于工业生产。随着DPSS激光器