王 勇,李兴鸿(北京微电子技术研究所, 北京 100076)摘要:对扫描电子显微镜静态/动态/电容耦合电压衬度像、电子束感生电流像、电阻衬度像在亚微米和深亚微米超大规模集成电路中的成像方法和成像特点进行了研究,对各种分析技术在失效分析中的应用进行了深入的探讨,为电子束探针检测技术在亚微米和深亚微米集成电路故障定位和失效机理分析中的应用提供了理论基础和实践依据。 关键词:扫描电子显微镜;集成电路;失效分析 中图分类号:TN304.07 文献标识码: A 文章编号:1003-353X(2004)07-0040-03 1 前言 现今集成电路都已进入深亚微米时代。所有这些变化使得集成电路的失效分析变得