为了解决由于高温而给半导体器件带来的热可靠性问题,本文对新型高效的微通道相变散热器进行研究,设计并制造微通道相变散热器,同时搭建测试系统并以水和乙醇为工质对所设计的散热器进行测试。本实验中工质流量范围在20 mL/min-200 mL/min,所加热流密度分别为200 kW/m2和300 kW/m2,在该实验条件得到散热器的导热系数及温度分布,并对散热器进行建模。通过对实验数据处理与分析发现散热器散热能力主要受流量控制。基于此特点,搭建智能热控系统,对散热器进行控制与管理,从而改善电子器件的热可靠性问题。