退火温度对分步溅射制备铜锌锡硫薄膜性能的影响

利用ZnS、SnS、CuS三种二元硫化物靶,分步溅射制备了铜锌锡硫(CZTS)薄膜, 并在不同温度下进行退火。研究了退火温度对薄膜晶体结构、组分、表面形貌及光学特性的影响。结果表明, 当退火温度为400 °C时, CZTS薄膜中含有Cu2S及SnS等多种二次相; 随着退火温度的升高, 二次相的种类逐渐减少, 当退火温度为550 °C时, 薄膜的表面平整致密, 二次相种类最少; 然而, 当退火温度为600 °C时, 薄膜表面变得粗糙, 二次相种类增多。