激光等离子体有助于改进X射线光刻 下载 jingsiyubeigao 14 0 PDF 2021-02-09 23:02:43 为了迅速突破集成电路的X射线光刻工艺,华盛顿州贝尔里尤的Spectra Technology研究小组发展了一种高亮度激光等离子体源。用这种X射线光刻可望大大提高电路板的生产效率。 立即下载 微信扫一扫:分享 微信里点“发现”,扫一下 二维码便可将本文分享至朋友圈。