激光等离子体有助于改进X射线光刻

为了研究和诊断箍缩聚变的聚爆靶高温等离子体内部的形状、分布及各种运动过程,基于晶体布拉格衍射,研制了新型球面弯曲晶体能谱成像系统。其核心元件是石英球面弯曲晶体(1010),弯曲半径为200 mm。在中

巴特尔研究所的哥伦布实验室最近研究出一种防止光从目标后向散射到Q开关激光器的新的隔离方法。此法依靠一只特殊的二层反射镜。它可以应用于任何功率和脉冲持续时间的Q开关激光器,已证明能使后向散射最少衰减99

为诊断激光驱动金属靶产生X射线背光源的性能,利用椭圆聚焦特性,研制了一种背光椭圆晶体谱仪。谱仪的色散分析元件为云母(002)晶体,椭圆弯晶的焦距为1350 mm,离心率为0.9586。激光束以30°角

美国光谱技术公司研制出一种高亮度激光等离子体源,用于集成电路的χ射线光刻术的快速生产。该法可能使晶片生产效率大大提高。目前,在集成电路平版印刷术中紫外线法占统治地位,然而该技术无法满足亚微米线宽的要求

半导体结构愈来愈小的趋势已集中至以X射线光刻作为实现此目标的最有希望的技术上。虽然X射线光刻离实际生产使用还有好多年,但对此技术已进行了大量研究。在建立实用系统的竞争中,用激光产生X射线已成为领先的技

本文报道了一个软X射线URA(uniformly redundant arrays)编码孔成像的光学图像处理方法.利用相干光学解码图像处理技术给出了模拟靶图像.

对于电子密度和增益为线性分布的等离子体,在几何光学近似下,通过简化模型研究了毛细管放电X射线在柱状长等离子体柱中的传播与增益过程,并给出了X射线激光的输出光强随偏转角的变化关系及偏离轴向的折射角.同时

报道了以固态CO2作为靶材的一种新型激光等离子体软X射线源,与常规金属靶激光等离子体软X射线源相比,它是一种低污染的光源,深入研究正在进行中。

本文叙述了离子和X射线能量计的原理、结构及其定标特性。在激光等离子体实验中得到了一些结果,并作了分析和讨论。

为了对激光等离子体偏振状态进行诊断,研究了X射线偏振度的测量方案及推算方法,利用两台晶体谱仪分别在相互正交的两方向对等离子体辐射的X射线进行探测,以确定其偏振度。光谱仪采用PET晶体作为分光器件,成像

用掠入射光栅光谱仪拍摄了4~12nm波段范围内镁的激光等离子体软X射线发射光谱。利用等电子数序列离子光谱的规律性,对镁的类铍电离级离子跃迁的软X光谱线进行了识别。

为了诊断0.2~2 nm的激光等离子体X射线,研制了一种新型的基于时间分辨和空间分辨的聚焦型椭圆弯晶谱仪,采用两个完全相同且对称分布的通道可以同时获得谱线的空间和时间分辨率。给出了弯晶谱仪的设计参数,

研制了一种高重复频率小型激光等离子体软X射线源,其发射重复性涨落优于±4.5%。采用光谱学诊断方法系统研究了光源的软X射线辐射特性。

通过合理而有效地按排多种探测仪器,观察到等离子体X射线激光介质的空间非均匀现象.在保证入射激光经最佳组合透镜后焦线均匀性前提下,由实验显示等离子体介质的空间不均匀性主要来自靶材质量和调焦精度.此外,入

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