模拟激光等离子体软X射线成像的光学处理方法

为了研究和诊断箍缩聚变的聚爆靶高温等离子体内部的形状、分布及各种运动过程,基于晶体布拉格衍射,研制了新型球面弯曲晶体能谱成像系统。其核心元件是石英球面弯曲晶体(1010),弯曲半径为200 mm。在中

为诊断激光驱动金属靶产生X射线背光源的性能,利用椭圆聚焦特性,研制了一种背光椭圆晶体谱仪。谱仪的色散分析元件为云母(002)晶体,椭圆弯晶的焦距为1350 mm,离心率为0.9586。激光束以30°角

美国光谱技术公司研制出一种高亮度激光等离子体源,用于集成电路的χ射线光刻术的快速生产。该法可能使晶片生产效率大大提高。目前,在集成电路平版印刷术中紫外线法占统治地位,然而该技术无法满足亚微米线宽的要求

为了迅速突破集成电路的X射线光刻工艺,华盛顿州贝尔里尤的Spectra Technology研究小组发展了一种高亮度激光等离子体源。用这种X射线光刻可望大大提高电路板的生产效率。

报道了以固态CO2作为靶材的一种新型激光等离子体软X射线源,与常规金属靶激光等离子体软X射线源相比,它是一种低污染的光源,深入研究正在进行中。

在109至748 nm波段已观察到大量粒子数反转;它们是由六种元素用激光等离子体发出的宽带软X射线能流通过内壳层和/或多电子离化-激发光电离过程泵浦产生的。当用25~300 mJ、70 ps和10 n

根据文献资料,等离子体中的激光辐射能量转换成软X射线的转换效率α的最大值α

本文叙述了离子和X射线能量计的原理、结构及其定标特性。在激光等离子体实验中得到了一些结果,并作了分析和讨论。

对目前实际可获得的台式激光等离子体X射线光源各种性能进行了分析,论证了利用这类设备获得有实际应用价值的X光全息图的可行性.并在此基础上进行数值模拟,讨论了各种参数对实验结果的影响,讨论了缩短实验时间及

为了对激光等离子体偏振状态进行诊断,研究了X射线偏振度的测量方案及推算方法,利用两台晶体谱仪分别在相互正交的两方向对等离子体辐射的X射线进行探测,以确定其偏振度。光谱仪采用PET晶体作为分光器件,成像

用掠入射光栅光谱仪拍摄了4~12nm波段范围内镁的激光等离子体软X射线发射光谱。利用等电子数序列离子光谱的规律性,对镁的类铍电离级离子跃迁的软X光谱线进行了识别。

为了诊断0.2~2 nm的激光等离子体X射线,研制了一种新型的基于时间分辨和空间分辨的聚焦型椭圆弯晶谱仪,采用两个完全相同且对称分布的通道可以同时获得谱线的空间和时间分辨率。给出了弯晶谱仪的设计参数,

研制了一种高重复频率小型激光等离子体软X射线源,其发射重复性涨落优于±4.5%。采用光谱学诊断方法系统研究了光源的软X射线辐射特性。

通过合理而有效地按排多种探测仪器,观察到等离子体X射线激光介质的空间非均匀现象.在保证入射激光经最佳组合透镜后焦线均匀性前提下,由实验显示等离子体介质的空间不均匀性主要来自靶材质量和调焦精度.此外,入

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