对几种氧化物介质膜料的单层膜、增透膜及高反膜的激光损伤特性进行了实验研究,分别测试了单脉冲和多脉冲1064 nm激光的损伤阈值,分析和讨论了实验的物理现象及其结果。研究表明SiO