设计并制作了一种能直接与通信用标准单模光纤阵列相耦合的1×16多模干涉型光功分器。其输入、输出单模波导采用离散谱折射率法优化设计,获得了脊宽为3μm、脊高为2.9μm和理论传输损耗约为0.028dB/cm的单模脊形光波导。分析表明,这种深刻蚀多模干涉型光功分器具有较大的制作容差性、较宽的工作带宽以及几乎可忽略的极化依赖性。测试结果表明,器件实现了1×16光功分器功能。