为了研究Co掺杂及掺杂浓度变化对ZnO薄膜结构及光学性能的影响,本文采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备了不同Co掺杂浓度的ZnO薄膜。通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜、傅里叶变换红外光谱仪、二维傅里叶变换、紫外-可见分光光度计和荧光光谱仪等表征手段,结果表明:当Co掺杂浓度小于2%时,制备的薄膜均具有c轴择优取向生长、六角纤锌矿结构,薄膜致密度高、表面平整,在可见光区薄膜的平均透光率大于87%,薄膜具有较强的紫外发光特性,及较弱的蓝光、绿光发光特性,且掺杂后,蓝光峰向更长波段方向移动;当Co掺杂浓度大于2%时,XRD衍射(002)峰和光致发光谱的紫外发光强度逐渐淬灭,薄膜不再具有典型的六角