退火温度对Bi“ 2VO” 5“。” 5 / LaNiO“ 3 / Si薄膜性能的影响

通过化学溶液沉积在LaNiO3 / Si(100)衬底上制备Bi2VO5.5铁电薄膜。 研究了在500-700摄氏度下退火的薄膜的铁电和介电性能。 与在较低温度下退火的薄膜相比,在700摄氏度下退火的薄膜表现出更有利的铁电和介电性能。 在700摄氏度下退火的薄膜的剩余极化2P(r)和矫顽场Ec的值分别为10.62μC / cm(2)和106.3 kV / cm。 薄膜的泄漏电流在6 V时约为1.92 x 10(-8)A / cm(2)。讨论了薄膜电性能与退火温度的关系的可能机理。