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激光化学加工（LCM）是一种非常规的去除工艺，其基于电解质和金属表面之间异质化学反应的精确热活化。 由于在此过程中局部过热，会产生沸腾的气泡，这会损害去除质量。 为了减少气泡量，在不同的处理压力下进行
聚焦、超紫外(UV)激光束已被用于固体表面以产生微米尺度的化学过程。这些过程是以在气体-固体分界面附近的气体分子光致离解开始的。依照有活性的光致碎裂片是与固体作用或者被固体吸附,微观腐蚀或微观淀积分别
光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研
总结了光化学传感器的机理及其发展现状,特别介绍了近年来发展较快的利用表面等离子体激元共振(SPR)效应及溶胶-凝胶(sol-gel)法薄膜工艺制备的波导式、光纤式化学传感器,讨论了发展中存在的问题,提
到目前为止,绝大部分研究集中在激光同位素分离之课题,所用的方法有好几种,但未来的重要应用还包括生物化学领域内的一些有趣的课题。
通过对准分子激光光束特性进行研究,并根据准分子激光微加工的需要,设计了一套实用的准分子激光微加工光路。
设计制作了一套反转剪切干涉仪,测量了KrF准分子激光的空间相干性。用这种方法,能够一次测量激光的空间相干度,并且在不用条纹相机的条件下能够实时测量相干度随时间的变化过程。在有注入、无注入锁定及在非稳腔
研究了ArF准分子激光振荡放大系统,中心波长193 nm。用一只闸流管作为开关元件,通过主充放电网络匹配,有效地解决了两台器件的放电抖动,振荡放大倍数达到约50倍,系统单脉冲输出能量50 mJ。光束发
西德Lambda Physik公司为美国喷气推进实验室的桌山激光雷达设施安装了一台100瓦的窄带准分子激光器。这种脉冲式EMG 160T MSC型激光器运转波长为307.9纳米,其能量可放大到700毫
大电流、大能量电子束源的研制,给新型大功率气体激光器的研制要重的影响。现在,千安培和兆伏量级的电子束已能得到。以这些强电子束,就有可能迅速泵浦高压气体从而克服在制造大功率真空紫外激光器中一度出现的不可
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