钌酸盐是典型的ABO3型过渡金属氧化物, 具有金属导电性, 其薄膜可作为电极材料用于集成铁电等器件中。分析了BaRuO3的钙钛矿晶体结构和导电机制, 并利用ArF准分子脉冲激光沉积(PLD)技术, 结合后续退火处理, 在Si(100)衬底上生长出具有(110)取向、室温电阻率约10 -2~10 -3 Ω·cm的BaRuO3高导电性薄膜, 俄歇能谱(ASE)和Rutherford背散射谱(RBS)分析表明:薄膜BaRuO3的纯度高、成分均匀性好, BaRuO3/Si界面存在扩散过渡层。