无外加氟施主情况下,在装有聚四氟乙烯面预电离板的准分子激光器中,放电激发Xe/Ne混合气体产生了XeF准分子。研究了中心波长为351 nm,353 nm和308 nm的发射谱。放电激发Kr/Ne混合气体,观察到了KrF 248 nm发射谱。