准分子激光器对于紫外区来讲目前仍仅限于稀有气体(氦、氪、氩)和稀有气体,卤化物。其中较实用的有稀有气体氟化物(氟化氩、氟化氪、氟化氦),其不但在实验中应用,并发展为商品,本文考虑到实用性,只对放电激励的氟化氪激光器进行论述。