采用电子束沉积技术成功制备了以碱土金属硫化物为基质材料、稀土元素离子作为激活中心的输出红光的红外上转换及光存储薄膜材料CaS:Eu,Sm。物相结构测试表明,基片温度和后退火晶化处理对薄膜的晶态有很大影响。在本实验的制备条件下,(200)面的衍射峰最强;加硫共蒸或通入少量H2S有助于改善CaS薄膜的化学计量比。光谱测试表明,薄膜材料的光学性能与粉末材料基本相同。