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塑料非球面光学零件由于具有重量轻、成本低，光学零件和安装部件可以注塑成为一个整体从而节省装配工作量，以及耐冲击性能好等优
利用环形子孔径拼接法,无需零位补偿就能够实现对大口径非球面的测量。但是用干涉仪直接测得的各子孔径的相位数据中包含非共光路误差,同时必须把各子孔径的CCD像素坐标统一归化到镜面上,才能够实现全口径的拼接
首次采用二维哈特曼法在车间对φ2.16米非球面主镜进行检验,给出了主镜的光浓度,最佳焦面点列图,镜面偏差的等高线图,均方根误差等,还用泽尼克(Zernika)多项式拟合镜面的偏差面形,求出像差系数。用
计算全息元件(CGH)可实现光学非球面的零位干涉高精度检测,但深度非球面的非球面度以及非球面度梯度均较大,使检测所需CGH的局部空间频率偏大,加工困难。提出一种用组合CGH检测深度非球面的方法,该方法
为实现高精度非球面的面形误差检测,对激光直写计算全息图(CGH)的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的,通过基础工艺实验,探究离焦量对光刻胶上线宽的影响;研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律
用计算全息图(CGH)检测非球面时,除了设计零位补偿CGH 外,还往往设计辅助调节CGH,从而可以利用干涉图来精确调节CGH 的位置。针对这种同时具有零位补偿和辅助调节功能的CGH,提出零位补偿CGH
虽然非球面元件具有无比的优越性,但是大型非球面元件的加工和检测都要比球面困难得多,主要因为大多数的非球面元件只有一个对称轴,而球面却有无数条对称轴,所以,非球面元件不可以采用球面元件加工时的范成法原理
通过白光扫描干涉术研究了用于非球面元件的大范围测量方法并利用纳米测量机(NMM)构建了测量系统。对系统的运行环境进行分析,定量给出了评定结果。在系统环境得以保证的前提下,重点研究了无重叠拼接方法,并将
大型非球面在位横向剪切干涉检测系统与关键技术研究，王起维，孙涛，高精度、定量检测方法和检测系统是实现超精密加工的重要条件，尤其对大型非球面超精密加工，检测技术始终贯穿其中（工艺过程检验
提出采用摆臂式轮廓检测的方法,实现超大口径SiC反射镜面形的高精度轮廓检测。阐述了采用摆臂轮廓仪检测超大口径反射镜的基本原理和具体实施流程;介绍了基于扫描线交点高度一致性的特点进行面形重构的算法,以及
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