具有和不具有Pb0.8La0.1Ca0.1Ti0.975O3(PLCT)种子层的四方(Pb0.8Ca0.2)TiO3(PCT)薄膜通过射频磁控溅射在Pt(111)/ Ti / SiO2 / Si衬底上沉积了Pt(111)。 种子的影响对PCT薄膜的微观结构和电性能进行了研究,发现没有种子层的PCT膜表现出无规取向,而具有种子层的PCT膜表现出很强的取向。 (100)方向。 具有14 nm厚PLCT种子层的PCT薄膜显示出增强的电学性能热电系数(256μC/ m2 K)大,漏电流密度低等特性(Jb2×10-5 A / cm2)在室温下。 产生的高品质因数(Fd = 173μC/ m2 K)表明高度取向的薄膜是热释电薄膜器件的良好候选者