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87年3月于美国加州圣·克拉拉光学仪器工程师协会召开的微型光刻术中的激光会议上 重要的事件是,GCA公司宣布了第一个分辨率为0.5纳米的基于准分子激光器的印刷系统将在1987年第二季度推出。这次会议还
美国宇航局戈达德空间中心研究人员正利用臭氧层吸收XeCl准分子激光辐射的特点来监测地球臭氧保护层消耗的情况。
研究了毛细管放电中KrF准分子的产生过程,测得受激的KrF密度约为10
电子综合研究所激光研究室研制成功振荡效率高达2.9%的自动预电离型放电激励KeCl准分子激光器。准分子激光器应用最为重要的是要求激光装置具有高度的可靠性。最近发展的准分子激光技术,大幅度改善了以往装置
测量在空气和真空中308 nm准分子激光对C60薄膜的刻蚀速率和刻蚀阈值,讨论了环境中氧气对刻蚀特性的影响。
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保加利亚索非亚大学的研究人员,把氯化氙激光器和锁模Nd:YAG激光器发射的脉冲在磷酸二氢钾晶体中混合,产生了和频和差频。他们说,这个实验是“准分子激光器在相位匹配混频实验中的首次直接应用。”
用XeCl准分子激光在空气、生理盐水和血液中对离体猪心脏进行了心肌消融.实验表明,以光化学分解为主体的有热效应和机械压力效应是心肌消融的主要机制.
比较分析四种微加工工艺的基本特征和技术难点,简述准分子激光与Nd∶YAG激光微制造技术的特点和应用范围。结合华中科技大学准分子激光微制造工作站的建设及其在微钻孔、微切割等方面的实际应用,分析准分子激光
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