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光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研
在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件,用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm,调谐范围~1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级,注入后放大级效
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本文报道了采用电阻分压器测量准分子激光器放电电压的实验结果.讨论了影响测量装置性能的各种因素和消除办法,并研究了器件的过压击穿形式及其变化规律.
介绍了准分子激光刻蚀单晶硅的流程和表征， 很有用的
氢气加石墨在XeCl(308nm)激光作用下产生了碳氢化合物CH4、C2H2、C2H4、C2H6等。讨论了可能的反应动力学过程。
Ocular dose reponse relationship was experimentally determined by exposing chinchilla rabbit eyes to
本文报导用193nm ArF和222nm KrCl准分子激光分别光解HgBr2和HgI2产生Hg原子的404.7 nm(7~3S1→6~3P0 )、435.8 nm(7~3S1→6~3P1)和546.
采用ArF脉冲准分子激光沉积法并结合退火后处理工艺,在Si(111)衬底上成功地制备了AlN晶态薄膜。X射线衍射、扩展电阻与原子力显微镜等测试结果表明:薄膜具有(101)取向,平均晶粒大小为200 n
受激喇曼散射可以将紫外准分子激光辐射频移到特定的近紫外和可见光波长.采用喇曼整形技术还可以获得衍射极限发散角的斯托克斯输出.本文研究了注入光束质量对喇曼整形的影响,并求得不同氢压力下的喇曼增益系数和饱
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