Bi2O3缓冲的Pt / Ti / SiO2 / Si衬底上溶胶 凝胶衍生的BiFe0.95Mn0.05O3薄膜的铁和压电性能增强
使用溶胶-凝胶法在Pt / Ti / SiO2 / Si和Bi2O3 / Pt / Ti / SiO2 / Si衬底上制备BiFe0.95Mn0.05O3薄膜。 两种膜在1到16.7 kHz的频率范围内都可以观察到饱和的方形PE磁滞回线。 Bi2O3 / Pt / Ti / SiO2 / Si上的BiFe0.95Mn0.05O3 BiFe(0.95)Mn(0.05)O(3)膜表现出较大的2P(r)(类似于156μC / cm(2)),较小2E(c)(类似于510 kV / cm),更对称的PE环路,更强的电荷保持能力(在10(4)s后AP的损失仅为2%)和耐疲劳性(在之后观察不到Delta P的损失)与直接沉积在Pt / Ti / SiO2 / Si上的薄膜相比,该薄膜具有1010个开关周期。 更重要的是,前者可以使用压电模式原子力显微镜系统均匀极化,并表现出更大的压电系数(类似于64 pm / V)。 这些结果应归因于Bi2O3缓冲层,它可以促进晶粒生长,从而消除在带负电的缺陷之间形成的缺陷复合物,例如(Mn-Fe3 +(2+))'; 或(Fe-Fe3 +(2+)。)'; 和氧气的空
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