本文详细介绍了钨薄膜在离子注入过程中的仿真实验，从模拟实验工具的介绍、实验流程的设计到实验结果的分析，逐一阐述了关键步骤。通过对实验结果的三维图像处理和数据表格展示，我们得出了样品在不同参数下的离子注入效应。同时，本文还对样品表面质量的影响进行了分析，为后续研究提供了有力的支持。