# 纳米压印光刻龙头
UV压印光刻刻蚀工艺研究
UV压印光刻刻蚀工艺研究，史永胜，丁玉成，针对UV压印光刻和传统光学光刻不同的技术特点，提出压印光刻刻蚀工艺路线。本文对反应离子
太平洋苏大维格300331.SZ纳米压印光刻龙头公司分析多维业务齐头并进
太平洋-苏大维格300331.SZ纳米压印光刻龙头公司分析：太平洋-苏大维格（股票代码300331.SZ）是一家在纳米技术领域有
压印光刻中压印力与留膜厚保值度的研究
压印光刻中压印力与留膜厚保值度的研究，尹磊，丁玉成，针对压印光刻（IL）工艺实现图章保真复型对阻蚀胶残留膜的厚度和均匀度的要求，
应用传统紫外光刻机进行紫外压印
1 引言 自1995年纳米压印技术提出以来,人们希望通过该技术实现低成本、高分辨率、高效率、大面积的批量制备纳米结构
堆垛层错铝薄膜的纳米压印
这是有关纳闷压印技术的程序资源，采用的基底材料是堆垛层错铝薄膜，压头是坚硬的金刚石结构的硅。
纳米器件的一种新制造工艺纳米压印术
梁迎新,王太宏(中国科学院物理研究所,北京100080)1引言自20世纪60年代以来,集成电路一直按照摩尔定律不断更新换代,即单
纳米压印法制备规则TiO2纳米孔阵列薄膜
纳米压印法制备规则TiO2纳米孔阵列薄膜，仲鹏，阙文修，本文给出了一种利用纳米压印技术在基底上直接制备规则TiO2纳米孔阵列结构
基于复合纳米压印技术的SERS衬底的制备
基于复合纳米压印技术的SERS衬底的制备，杨涛，傅欣欣，本文描述了一种高效，快捷制备高质量的表面增强拉曼散射（SERS）衬底的方
微光刻与微_纳米加工技术
moems微加工的论文，可以仔细看看，从学校下载的，希望有用啊
纳米压印工艺制作DFB激光器的可靠性研究
利用光荧光谱及X射线双晶衍射研究了纳米压印工艺对半导体外延材料的影响。利用纳米压印工艺制作了1.55 μm通信用分布反馈(DFB