某国产DRIE干刻反应腔外聚焦环表面粗糙度对颗粒数目影响的机理研究,张静怡,黄其煜,本文阐述某国产设备厂商某型号深反应离子刻蚀(deepreactiveionetching,DRIE)设备干刻反应腔副产物沉积在外聚焦环(coverring)表面,由�