浸润式光刻工艺中水渍残留的优化,莫少文,李杨,水渍缺陷,是浸润式光刻工艺所产生的一种特有的缺陷。由于浸润工艺引入了水,所以在曝光时,水时刻存在。但是在曝光的过程中,以