脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒的动力学研究,李红伟,苏威,本文采用准分子激光器在10Pa氩气环境中烧蚀单晶硅靶,用扫描电子显微镜观察了沉积物的表面形貌,可以得到衬底上晶粒面密度及平均�