基于电流偏差补偿模型的SICM自适应控制.pdf,扫描离子电导显微镜（SICM）能够在非接触条件下获取样品表面纳米级形貌特性信息，可以在生理液态环境下实现对活体细胞等柔软样品无损成像。但是通过前期大量实验结果，发现在使用连续扫描模式时SICM扫描图像存在“拖尾”现象，导致图像失真，并限制了扫描成像速度。针对这一问题，结合SICM成像原理进行分析，得出电流逼近曲线高度非线性是产生这一现象的主要原因，并提出一种基于电流偏差补偿模型的SICM自适应控制方法。主要思想是建立电流偏差补偿模型，利用上一行扫描高度数据作为先验知识预测当前扫描点位置，并输入补偿模型得到新的电流偏差作为系统被控量。最后分别用新