利用TCAD软件优化决定LDMOS击穿电压的参数,陆鑫,,通过对决定一个参考LDMOS(LateralDouble-DiffusedMOS,横向双重扩散场效应管)器件的源漏击穿电压的各结构及其尺寸,位置等参数在TCAD(Techn