类金刚石碳（DLC）是一种亚稳态非晶膜，具有独特的性能。但是，有关DLC的使用存在许多限制，例如其摩擦学特性。在本文中，研究了氟和硅结合的类金刚石碳（F-DLC和Si-DLC）薄膜，并考虑了与纯DLC相比这些薄膜的摩擦学性能。使用俄歇电子能谱和拉曼光谱对膜的结构进行表征。通过纳米压痕硬度测试评价硬度和弹性模量。使用圆盘摩擦测试和光学显微镜评估摩擦性能。结果表明，所沉积的DLC膜包含0.6-2.1at。％的F和26.7-38.4at。％的Si。随着F含量的增加，硬度和弹性模量降低，这与在Si-DLC膜中观察到的行为相反。这是由于G峰位置发生位移，这与薄膜中的sp3键合分数有关。