薄膜制备技术 试验.ppt 真空技术在二十世纪得到迅速发展,并有广泛的应用。二十世纪初,在真空获得和测量的设备方面取得进展,如旋转式机械泵,皮氏真空计,扩散泵,热阴极电离真空计的发明,为工业上应用高真空技术创造了条件.接着,油扩散泵,冷阴极电离真空计的出现使高真空的获得及测量取得一大进展.五十年代,真空技术进入超高真空时代,发明了B-A规,离子泵,涡轮分子泵.近二十年来,高能加速器,受控热核反应装置、空间技术,表面物理,超导技术笋,对真空技术提出了更新,更高的要求,使真空技术在超高真空甚至极高真空方面迅速发展