3 静电防护 净化间静电防护应遵守以下基本原则: (1)防止静电荷积聚;(2)建立安全的静电泄放通路;(3)采取有效的静电监控设备进行系统静电监控. 3.1 良好的接地系统 接地是指把金属导体与大地连接,使它和大地等电势,静电接地的目的是增快静电泄漏和导流,使带电物体的静电荷得以顺利释放,以避免静电积聚.净化间内,为了防止静电串扰,带来额外静电危害,应设置多路接地,如防静电接地.交流工作接地.直流工作接地.防雷接地.屏蔽接地等,这些接地共用一个接地体,接地体由三处埋入地下2 m的角铁组成,为保证接地效果良好,接地电阻应小于4 Ω. 为了消除净化间静电防护死角,防静