§2.1 外延技术概述 1.5学时 课程内容: 1 外延分类 1.1 由外延材料的名称不同分类 1.2 由外延层材料与衬底材料相同否分类 1.2.1 同质外延 1.2.2 异质外延 1.3 由器件作在外延层上还是衬底上分类 1.3.1 正外延 1.3.2 负外