预硬化明胶酶蚀成像特性的研究

nightash 2 0 PDF 2021-02-23 08:02:04

从预硬化重铬酸盐明胶光致抗酶蚀的成像机理出发,分析和推导了酶蚀成像特性曲线。并从实验上考察了几个主要因素对其线性动态范围的影响。其结果对于明胶酶蚀成像技术的应用,特别是对保真沟形微结构光学元件的制作具有指导意义。

用户评论
请输入评论内容
评分:
暂无评论