准分子激光角膜手术研究

83年11月,商用准分子激光器取得一些关键性技术进展。XMR公司的XeCl激光器获得200瓦输出,重复频率500赫。寿命超过500万次,无需充气或擦洗。公司还宣布其用于半导体工业的准分子激光微加工中心

收稿日期:1980-10-20

情性气体卤素准分子激光器于1976年第一次问世之后,达到了相当高的水平,成为强有力的紫外光源。其特点是:从远紫外到红外范围内都有发射谱线,能量和输出功率都很高。高速气体循环使重复率超过100赫,导致紫

从70年代开始作为可见和紫外波段有效辐射源的准分子激光器普及性就在增长。在准分子激光器中,KrF*、XeCl等惰性气体的卤化物激光器有最高特性。目前继续提高输入介质的能量是个艰难任务,因此,依靠混合气

本文报道一台新颖的双通道放电泵浦的准分子激光器,采用折叠式光路构成一个较长的激光腔(2m),同时适当拉长放电时间,获得了150ns、150mJ的激光输出。

由于美国GCA公司集成电路系统组采用4600 L型图形发生器,使激光进一步“侵入”半导体生产工艺。这种系统弥补了紫外弧光灯和电子束系统的缺陷,可望比紫外弧光灯速度快得多,而比电子束系统便宜得多。

半导体工程师寻找有用的自显影光刻胶已有多年。这种光刻胶可用于半导体加工过程中很少几个阶段,可能节约生产成本。虽然已研究过几种这类材料,但它们都有一种或多种问题,诸如副产品有毒、曝光需要高强度辐照量、化

本文报导了我们利用KrF和XeBr的准分子激光对三种紫外染料:对二苯基苯、1.4-二苯基丁烷和ΠΟΠ,进行了泵浦的结果。在实验中我们测验了泵浦能量转换成染料激光辐射的效率,以及在利用简单的色散共振腔时

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从一台紫外预电离XeCl激光器中得到单脉冲能量~400mJ、平均功率22W的激光输出,其总体效率约2%。分析和实验测量表明,C-G能量转移效率对激光器的工作特性有着重要影响。