用于NIR SERS的晶圆级3D云状铝分层纳米结构
摘要:等离子纳米材料在大面积上具有较高的可访问热点密度,非常适合用于超灵敏的近红外表面增强拉曼散射(NIR.SERS)感测,尤其是那些基于低成本且富含地球的非造币金属的材料。 在这里,我们报告了一种简便的热蒸发方法,以在晶片尺寸的基板上制造以纳米粒子装饰的3D分层铝云状纳米结构,使用785nm激发可以提供更高的拉曼信号增强。 这种增强归因于其接近吸收波长的吸收峰和由大的类似云的纳米结构和/或小的纳米颗粒构成的热点的高密度。 系统测量和统计分析表明,所获得的NIR SERS基板在4英寸晶圆表面上显示出高的增强因子(1.48×10 5),长期稳定性和出色的重现性,标准偏差小于7%。 显着增强,长期稳定性,良好的可重复性和可扩展的生产Craft.io的结合表明,这种类型的3D分层铝纳米结构有望作为一种坚固的低成本等离激元材料,用于近红外SERS操作中。
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