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本文报导了高功率、高效率紫外光预电离KrF(λ=248毫微米)准分子激光器的实验研究.输出最大脉冲能量超过420毫焦耳.研究了KrF激光器的激光谱和荧光谱特性以及在混合气体中掺入Ne气的影响.
光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研
在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件,用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm,调谐范围~1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级,注入后放大级效
报道了适用于大体积高气压短脉冲的准分子预电离脉冲X光源,着重对获得高强度快上升X光源的技术作了介绍,并给出其它性能的实验结果.
本文介绍一种光谱亮度极高的KrF*(248亳微米)准分子激光源。这种仪器把整个增益分布内的连续可调谐性与输出脉冲的以下特性结合在一起,它们是:脉冲能量~60亳焦耳,脉冲持续时间~10亳微秒,光谱宽度1
介绍了准分子激光刻蚀单晶硅的流程和表征， 很有用的
采用ArF脉冲准分子激光沉积法并结合退火后处理工艺,在Si(111)衬底上成功地制备了AlN晶态薄膜。X射线衍射、扩展电阻与原子力显微镜等测试结果表明:薄膜具有(101)取向,平均晶粒大小为200 n
受激喇曼散射可以将紫外准分子激光辐射频移到特定的近紫外和可见光波长.采用喇曼整形技术还可以获得衍射极限发散角的斯托克斯输出.本文研究了注入光束质量对喇曼整形的影响,并求得不同氢压力下的喇曼增益系数和饱
氢气加石墨在XeCl(308nm)激光作用下产生了碳氢化合物CH4、C2H2、C2H4、C2H6等。讨论了可能的反应动力学过程。
Ocular dose reponse relationship was experimentally determined by exposing chinchilla rabbit eyes to
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