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本文报导了高功率、高效率紫外光预电离KrF(λ=248毫微米)准分子激光器的实验研究.输出最大脉冲能量超过420毫焦耳.研究了KrF激光器的激光谱和荧光谱特性以及在混合气体中掺入Ne气的影响.
光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研
在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件,用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm,调谐范围~1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级,注入后放大级效
报道了适用于大体积高气压短脉冲的准分子预电离脉冲X光源,着重对获得高强度快上升X光源的技术作了介绍,并给出其它性能的实验结果.
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本文报道了采用电阻分压器测量准分子激光器放电电压的实验结果.讨论了影响测量装置性能的各种因素和消除办法,并研究了器件的过压击穿形式及其变化规律.
介绍了准分子激光刻蚀单晶硅的流程和表征, 很有用的
氢气加石墨在XeCl(308nm)激光作用下产生了碳氢化合物CH4、C2H2、C2H4、C2H6等。讨论了可能的反应动力学过程。
Ocular dose reponse relationship was experimentally determined by exposing chinchilla rabbit eyes to
本文报导用193nm ArF和222nm KrCl准分子激光分别光解HgBr2和HgI2产生Hg原子的404.7 nm(7~3S1→6~3P0 )、435.8 nm(7~3S1→6~3P1)和546.
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