# 洁净室空调设计
洁净室要素
洁净室的设计和操作过程都必须防止外界污染的入侵。图5.15 显示了一个典型的加工工艺区域的规划图。有九种控制外界污染的技术,它们
洁净室的布局
传统的洁净室布局是舞厅式的设计。它由各个工艺隧道向中央走廊敞开的方式组成。现代设计是由一些小型局部洁净车间或主要工艺区域围绕着一
洁净室的建设
净化空气方法的选择是洁净室设计的首要问题。每个洁净室都要在洁净程度与建造费用中找到平衡。不论最终的设计如何,每个洁净室的建造都有
洁净室的维护
洁净室的定期维护是非常必要的。清洁人员必须要穿着与生产人员一样的洁净服,洁净室的清洁器具,包括拖把,也要仔细选择。一般家庭使用的
电子厂洁净室空调施工图
电子厂洁净室空调施工图包括节点图,系统图
完全洁净室方法净化空气
洁净室设计和过滤技术的发展,允许我们又回到敞开式加工区域的建设(见图5.12), 在最先进的设计中,空气过滤包括天花板中的HEP
洁净室的物质与供给
除了工艺化学品以外,加工晶圆还需要大量的其他物质与供给。这些物品须满足洁净度要求。记录单、表格和笔记本都需要用无脱落表面的纸张或
洁净室施工及验收规范
本规范分17章和8个附录，内容包括建筑结构、建筑装饰、风系统、气体系统、水系统、化学物料供应系统、配电系统、自动控制系统、设备安
如何优化洁净室空调设计提高空气质量
洁净室内的空气质量对于生产和实验过程至关重要，而空调系统的设计是影响空气质量的关键。本文将介绍如何优化洁净室空调设计，包括负荷计
洁净室施工及验收规范2011
洁净室施工及验收规范2011版，可供大专院校、科研院所和工厂技术人员参考